Vernisseuse automatique LCS

SPIN COATER & DEVELOPER SEMI-AUTOMATIQUE LCS Caractéristiques : Interface conviviale à écran tactile Jusqu'à 5 lignes de dosage Bras motorisé avec hauteur de distribution programmable Faible encombrement 600x625 mm Couverture transparente automatique Large éventail de tailles de mandrins pour l'enduction par centrifugation Changement de mandrin rapide et facile Nettoyage facile du bol Le LCS est conçu pour le revêtement par centrifugation semi-automatique et le développement de plaquettes et de substrats plats et sera le meilleur choix pour les projets pilotes, les instituts et la R&D. Il garantit une uniformité et une répétabilité élevées, ainsi qu'une utilisation et une maintenance simples. Il peut traiter des wafers jusqu'à 150 mm ou des substrats carrés jusqu'à 125x125 mm. Pour une compatibilité chimique optimale avec les produits chimiques de dosage, le bol peut être fabriqué en POM, en aluminium anodisé, en polypropylène, en acier inoxydable ou en PTFE. Le processus d'enduction par centrifugation est configuré grâce à un écran tactile convivial. L'utilisateur peut programmer jusqu'à 50 recettes en 20 étapes. Chaque étape peut avoir des paramètres de vitesse, d'accélération et de temps différents. Options : Rinçage du dos (BSR) Suppression des bourrelets de bordure (EBR) Système de distribution de seringues pneumatiques Système de distribution de seringues motorisées Système de distribution de bouteilles sous pression avec jauge numérique et contrôle de la pression Divers mandrins à vide ou mécaniques Outil d'alignement des plaquettes Bol en aluminium anodisé, polypropylène ou PTFE Spécifications : Taille des plaquettes jusqu'à, mm - 150 Taille du substrat jusqu'à, mm - 125x125 Gamme de vitesse, tr/min - 0 - 10 000 Lignes de dosage - Jusqu'à 5 Programmes stockés - pratiquement illimitée Tension d'alimentation - 230 VAC 50/60Hz 15A Pression d'approvisionnement de la CDA, bar - 4-5 Tube connecteur CDA, mm - 8 Echappement, m3 - 55-60 Raccord d'échappement, mm - 50 Tuyau de raccord de vidange, mm - 12 Dimensions générales, mm - 600x625x1300