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analyseur de gaz de process / de gaz résiduel / de pression / compact
QULEE CGM series

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analyseur de gaz de process / de gaz résiduel / de pression / compact analyseur de gaz de process / de gaz résiduel / de pression / compact - QULEE CGM series
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Caractéristiques

  • Objet de la mesure:

    de gaz de process, de gaz résiduel

  • Mesurande:

    de pression

  • Autres caractéristiques:

    de surveillance, compact, de commande, de process

Description

MONITEUR COMPACT DE GAZ DE PROCESS - SÉRIE QULEE CGM
"Qulee" (prononcé "KLEE"), est le dernier modèle ULVAC pour l'analyse des gaz résiduels et la surveillance des gaz pendant le processus. Les retours d'expérience des ingénieurs des différentes lignes de production sont incorporés dans la nouvelle conception du produit, qui offre la plus grande simplicité d'utilisation. Le Qulee offre une précision et une résolution élevées même à haute pression (1Pa ou moins).idéal pour le système de pulvérisation cathodique
Idéal pour la surveillance de différents systèmes de pulvérisation cathodique
Système de pompage différentiel non requis
Aucun système de pompage différentiel requis (à 1Pa (7,5×10-3 Torr,
1×10-2 mbar) ou moins)
Afficheur intégré
Pas besoin de PC
Utilisation simple
"Fonction "One Click
Bake Out
Max 120˚C (248˚F) cuisson à haute température (250˚C (482˚F (482˚F)) lorsque
sont enlevés)
Fonction Degas
Bombe à électrons dégazée
Caractéristiques de protection et d'entretien
Maintenance de la protection des sources d'ions et des multiplicateurs d'électrons secondaires
fonction aide
Traçabilité du tube d'analyse (brevet en instance)
Différents tests d'étanchéité sont disponibles
Test d'étanchéité à l'hélium, test d'étanchéité à l'air, test de construction
Mesure de la pression totale
Capable de mesurer la pression totale (jauge d'ionisation)
Qulee QCS est inclus
Ce logiciel est inclus et compatible avec (Windows 7/8)
QIP (Quick Install Package system) est inclus
Paquet de mesure automatique (voir le catalogue d'options pour plus de détails)
Norme applicable
Conforme à la norme CE
Surveillance de processus pour systèmes PV, FPD et semi-conducteurs
Analyse des gaz résiduels dans un système PVD
Contrôle des impuretés (H2O, etc.) dans un système PVD
Pour les essais d'étanchéité

Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)