Contrôleur de positionnement 3 axes PEPS® II

numériqueélectroniquehaute performance

PEPS® II améliore et développe le système breveté PEPS® (Precision Electronic Positioning System) de TMC. Grâce à l'ajout d'un nouveau contrôleur numérique, PEPS® II est plus facile à utiliser, offre plus de fonctions et possède une interface utilisateur améliorée. PEPS® II est un système numérique de contrôle de la hauteur sans contact pour les systèmes d'isolation antivibratoire pneumatiques TMC. Ces systèmes comprennent normalement des vannes de hauteur mécaniques et une liaison mécanique de détection de la hauteur. Ses applications vont de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs, qui permet d'améliorer le temps de stabilisation et d'augmenter les rendements, aux environnements de laboratoire de précision qui exigent des performances sonores et une stabilité de plate-forme optimales. Commande numérique, interface LCD conviviale -Commande de hauteur électro-pneumatique sans contact pour les systèmes d'isolation antivibratoire Gimbal Piston™, CSP® et MaxDamp® -Répétabilité de la position de l'axe Z : 10 microns -Isolation améliorée des vibrations grâce à l'élimination du contact du levier des systèmes de commande de hauteur mécaniques conventionnels -La fonction d'avance pneumatique minimise la réaction de l'axe Z au mouvement de la platine X-Y -Peut être réglé pour régler rapidement le mouvement induit par les étages X-Y -La fonction optionnelle "VX" intègre des capteurs inertiels pour un amortissement actif de la résonance de l'isolateur vertical -Compatible avec la fonction "Soft-dock". Permet le chargement/déchargement de plaquettes sans montage cinématique -Vannes électroniques proportionnelles. Pas de bruit d'impulsion introduit par les valves "on-off" ou les valves électroniques conventionnelles -Conduite d'échappement pour une évacuation propre de l'air usé -Contrôle et statut du dock logique