Platine XY KDT600-EDLM

à moteur linéaire2 axesde haute précision

Platine de balayage à grande ouverture Cette platine xy de grande précision est conçue pour une répétabilité maximale. Des guides à rouleaux croisés polis sont utilisés pour une répétabilité de la rectitude et de la planéité de + -0,15 µm. Grâce à la grande lumière transmise, les grands substrats peuvent également être mesurés des deux côtés ou par fluoroscopie. Il offre également l'option de mesure différentielle pour profiter de la précision totale du capteur dans les applications de mesure. Même lorsque la platine est entièrement déplacée, une ouverture d'au moins 60 mm x 60 mm est toujours conservée. Applications de balayage les plus rapides avec une accélération élevée Résultats de balayage extrêmement rapides grâce à une vitesse de positionnement de 330 mm/s Scanner des charges élevées avec une résolution extrême de 0,05 µm Coût optimisé pour atteindre des performances comparables à celles des systèmes de paliers à air Fonctionnement sans entretien jusqu'à 500 000 courses complètes, après quoi seule une simple relubrification est nécessaire - Durée de vie jusqu'à deux millions de courses complètes - gestion intégrée des câbles, terminal enfichable Domaines d'application Applications de balayage rapide et déplacement dynamique sur le Web, par exemple, inspection des semi-conducteurs, systèmes de mesure, inspection optique automatique (AOI), appareils de mesure, mesure différentielle, remplacement des systèmes de paliers à air