Système de positionnement XYZ 782481:001.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologieà vis à billes

Portique AFM XYZ pour l'inspection des wafers et la microscopie Personnalisable - Idéal pour des mesures très rigides et précises sans l'influence des vibrations - Haut débit grâce à des déplacements de 150 x 275 x 50 mm, extensibles à 550 x 1550 x 50 mm - Stabilité extrême à l'arrêt de 5 nm et plus - Durée de vie exceptionnelle grâce à l'utilisation de paliers à air inusables Ce portique XYZ très rigide est spécialement conçu pour l'examen en microscopie à force atomique (AFM) de haute précision d'échantillons de verre particulièrement grands. Au-dessus de la plate-forme d'échantillonnage en forme de U se trouve un cantilever mobile en Z pour l'AFM personnalisé. Caractéristiques techniques : - Système standard : PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - Course : 600 x 600 x 100 x 100 mm - Répétabilité : 0,2 - ±2 µm - Vitesse : 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z) - Charge max : 150 N (Z) - Entraînement : moteur linéaire (noyau de fer), rail profilé (XY) | vis à billes, moteur C.C., rouleau transversal (Z) - Rétroaction : échelle linéaire - Contrôleur de mouvement : ACS, intégration PLC Adaptable en option : Nanosurf fournit des systèmes AFM compacts, assemblables et personnalisés.