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Panneau de contrôle pour la calibration de pression MP2en inoxmanuelpneumatique
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Caractéristiques
- Application
- pour la calibration de pression
- Autres caractéristiques
- en inox, manuel, pneumatique
Description
Tableaux de contrôle de pression pour gaz semi-conducteurs à partir de la qualité 6.0
Soupape de gaz d'échappement
Vanne manuelle (pneumatique) pour gaz de process (EMO-)
Soupape de purge de gaz
Clapet anti-retour pour empêcher le gaz de process de refluer dans la conduite de gaz de purge
Pré-filtre
Régulateur de pression
Disque d'éclatement
Filtre pour l'alimentation en gaz de process sans particules
Soupape d'arrêt pour conduite de gaz de process
Toutes les pièces en contact avec le gaz sont en acier inoxydable 1.4404 ESU ainsi qu'en Hastelloy C et PCTFE
100 % d'hélium testé à l'épreuve d'étanchéité
Montage en salle blanche classe 100/10
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