Refroidisseur à circulation d'eau ThermoRack 1201

pour l'industrie des semi-conducteurscompactrackable

Le ThermoRack 1201 est un refroidisseur thermoélectrique à recirculation monté en rack 19" spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs gravure au plasma cendre de plasma la fabrication d'écrans solaires et d'écrans plats Plage de fonctionnement : -10°C à 80°C Température ambiante : - 10°C à 40°C sans condensation Stabilité / Répétabilité : - ± 0,05°C à charge constante (même proche de la température ambiante) Capacité de refroidissement : - jusqu'à 1340 watts à 20°C avec de l'eau d'installation à 20°C Capacité de chauffage : - Jusqu'à 2000 watts à 20°C avec de l'eau d'installation à 20°C Liquide de refroidissement / fluide de procédé : - mélange glycol / eau, Fluorinert / Galden ou HFE Raccords pour fluides de procédé : - 1/2" Swagelok Pompe : - 14 lpm (3,7 gpm) @ 30 psig avec HFE Volume du réservoir : - 5,7 litres (1,5 gal) avec 2 capteurs de niveau Eau de l'installation : - 4-19 lpm (1-5 gpm) @ 10-35°C eau de refroidissement de l'installation filtrée et traitée en recirculation Raccords pour l'eau des installations : - 1/2" Swagelok (acier inoxydable 316) N2/CDA (facultatif) : - 500 sccm -30°C point de rosée ou CDA ou N2 inférieur, 30-60 psig (2-4 bar) pour un fonctionnement à basse température Matériaux mouillés : - Processus : Aluminium, acier inoxydable et polymères Facilité : Aluminium anodisé imprégné de téflon et l'acier inoxydable Taille (L x P x H) : - 19" x 24" x 8,7" 5U (48,3 x 61 x 22,1 cm) Poids : - 31 kg (70 lbs) Entrée d'alimentation : - 200-240 VAC 1 phase, 50/60 Hz, 10 amp max Disjoncteur : - 16 amp 200-250 VAC 2 pôles avec 30 mA GFCI EMO à distance : - Contact sec externe Communications : - Lam analog, AMAT CHX et Tel Unity II Alarmes : - Température, niveau de fluide, système ou composant défaillance (affichage, contact sec et interface machine Les normes : - Semi S2-0200, conforme à la norme F47, CE, TUV listé à UL, CAN/CSA et EN 61010-1 Garantie : - 2 ans