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Caractéristiques
Type
à opercule
Actionnement
manuelle
Media
pour gaz neutre
Applications
pour wafers
Pression
Max: 600 000 Pa (87 psi)
Min: 450 000 Pa (65,3 psi)
Température
150 °C (302 °F)
Description
・Longue durée de vie : 3 millions de cycles (dans la plage de température standard)
・Faible génération de particules : Réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit existant)
・Entretien plus facile
remplacement facile du soufflet
la porte peut être remplacée par le haut. (Fabriqué sur commande)
・Mesures de sécurité
un mécanisme de verrouillage mécanique des extrémités a été adopté.
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.