Platine de nanopositionnement avec encodeur intégré METIRIO Readhead

La tête de lecture constitue le cœur du codeur METIRIO®. Tous les composants optiques et électriques ont été intégrés dans un boîtier flip-chip à très faible encombrement. Spécifications de la tête de lecture Taille compacte [mm] - 6,6 x 5,1 x 1,7 Faible consommation de courant [mA] - 20 Résolution de la position [nm] - 0,4 @ 20 mm/s Vitesse élevée [m/s] - 10 Longueur d'onde centrale [nm] - 850 (invisible) Données électriques Tension d'alimentation VDD [V] - 3 à 5,5 Signal de position de sortie (sinus) [Vpp] - 1 Signal de référence de sortie (carré) [VDD] - RS485 Largeur de bande (f3dB) [kHz] - 500 Sensibilité ESD (HBM) [kV] - 4 sur chaque broche Temps de démarrage [µs] - 150 Interface numérique - TWI Environnement Compatibilité UHV [mbar] - HV (1E-6) ; UHV (1E-11) Température maximale de cuisson [°C] - 160 Plage de température de fonctionnement [°C] - 0 - 80 Humidité (40 °C) [ - 80 sans condensation Compatibilité des échelles Type de réseau - réfléchissant Pas de l'échelle [µm] - 20 Type d'échelle - linéaire, convexe, rotative (jusqu'à 12 mm de diamètre) Distances de travail autorisées [mm] - 1,2 mm (standard), autres options sur demande