Sonde optique SP series

de laboratoirede caractérisation électrique

Grâce à son système de mouvement contrôlé en boucle fermée, le SMARPROBE permet un positionnement d'une répétabilité et d'une stabilité inégalées, même à l'échelle du nanomètre. Cela élimine les dérives, les corrections manuelles et les conjectures pendant le palpage, ce qui rend les mesures complexes plus rapides, plus fiables et hautement automatisables. C'est ce que signifie la boucle fermée - et c'est ce qui fait la différence. Le SMARPROBE SP4 offre 4 manipulateurs, tandis que le SP6 passe à 6 manipulateurs et que le SP8 en prend en charge jusqu'à 8. Chaque système comprend une platine d'échantillonnage. Tous les manipulateurs ont trois degrés de liberté et sont équipés de codeurs optiques d'une résolution de l'ordre du nanomètre pour un palpage électrique de haute précision. Les routines de positionnement intelligentes mises en œuvre dans le logiciel de commande dédié, ainsi que la possibilité de charger jusqu'à quatre échantillons SEM, maximisent la facilité d'utilisation et le rendement pour toute tâche de nanoprobing. S'appuyant sur le savoir-faire de SmarAct en matière de nanopositionnement piézoélectrique, la conception mécanique robuste garantit une stabilité maximale et un fonctionnement intuitif. Tous les systèmes SMARPROBE sont compatibles avec une large gamme de FIB, de SEM et de microscopes optiques, ce qui en fait une solution idéale à la fois pour l'adaptation des flux de travail existants et pour l'intégration dans de nouveaux instruments. Les systèmes de palpage SMARPROBE prennent en charge les techniques de caractérisation électrique allant de l'EBIC/EBAC à 2 contacts aux mesures de palpage avancées à 4 et 6 points, ce qui en fait un outil indispensable pour les laboratoires d'analyse des défaillances des semi-conducteurs. Principaux avantages : Fonctionnement en semi-aveugle dans le MEB. Grâce au maintien actif de la position, à la faible dérive thermique et à la fonctionnalité Point&Click, le positionnement de la sonde peut être effectué avec une exposition minimale au faisceau d'électrons,