Système de positionnement tripode TRIPOD 52-6DoF

XYsous vide

Le TRIPOD 52-6DoF est compatible avec le système modulaire CLS-52 et se compose d'une platine basculante, comme son équivalent plus grand, le TRIPOD 92-6DoF La disposition des trois tourelles permet un mouvement de roulis et de tangage de la plaque supérieure dans la plage de ±8,5° pour Θx, ±9,5° pour Θy et une translation linéaire dans la direction Z de 5 mm. La plaque supérieure comprend une fente de montage pour un étage de rotation SR-3211 afin d'ajouter un quatrième degré de liberté à la configuration. La plaque inférieure, au contraire, permet un montage direct sur une planche à pain ou une plateforme XY constituée de deux translations linéaires CLS-52 DeepL. Cette dernière possibilité permet d'obtenir un système de positionnement 5D ou, avec le SR-3211, 6D. Mécanique Course [mm] - 31 (X) ; 31 (Y) ; 5 (Z) Course [ - 17 (Θx) ; 19 (Θy) ; illimitée (Θz) Max. Force normale [N] - 5 Force horizontale max. Force horizontale [N] - 2,5 Dimensions [mm] - 90 x 90 x 80 Hauteur de la plate-forme au-dessus du sol [mm] - 80 Poids [g] - ~ 550 Boucle fermée Types de capteurs - S Plus petit incrément [nm] - 1 Plus petit incrément [µrad] - 1 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [nm] - < ± 200 Répétabilité en boucle fermée, course de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [µrad] - < ± 15 Options Options de vide - HV (1E-6 mbar) ; UHV / UHVT (1E-11 mbar) Option non-magnétique - Oui (-NM)