Interféromètre pour applications OEM SP 5000 DI/DS

pour mesure de déplacementpour mesure de longueuroptique

Description
Le SP 5000 DI/DS combine le principe d'un interféromètre différentiel et d'un interféromètre multi‑faisceaux pour fournir des mesures simultanées et très stables de longueur et d'angle (inclinaison). Cette configuration permet de détecter des déplacements ultra‑faibles et de très petites inclinaisons sur de larges surfaces tout en réduisant la sensibilité aux variations thermiques et environnementales.

Principales caractéristiques

• Interféromètre laser quatre‑faisceaux pour mesure différentielle déplacement‑angle
• Mesures différentielles de longueur et de basculement (angle) hautement stables
• Conçu pour intégration sur tables XY et plans miroirs
• Écart de faisceaux : 15 mm (mesure de longueur) et 6 mm (mesure d'angle)
• Sensibilité à la température très faible < 20 nm / K
• Versions OEM et pour vide disponibles sur demande

Application et utilisation
L'interféromètre est conçu pour être monté sur des plans miroirs ou intégré dans des systèmes de mesure ; une utilisation avec réflecteurs est possible. Le réglage s'effectue au moyen de composants optiques ultra‑stables intégrés dans le trajet optique, garantissant des mesures reproductibles et stables à long terme.

Domaines d'application

• Mesure simultanée de longueur et d'angle pour compenser l'erreur d'Abbe dans les montages de mesure de précision
• Contrôle de position des tables X‑Y en utilisant deux têtes capteurs pour une mesure coordonnée
• Mesures de longueur et d'angle stables à long terme avec résolution maximale

Idéal pour

• Suivi et étalonnage à long terme
• Intégration OEM dans systèmes de haute précision
• Applications exigeant une stabilité et une résolution maximales

Caractéristiques techniques

• Plage de mesure (longueur) : 0 m à ≥ 2 m
• Résolution en longueur : 5 pm
• Incertitude de mesure de longueur : 0,15 µm/m
• Angle maximal de basculement (avec plan miroir) : ±430 µrad
• Résolution angulaire : 0,02 µrad
• Écarts de faisceaux : 15 mm (longueur), 6 mm (angle)
• Sensibilité à la température : < 20 nm / K
• Principe de mesure : combinaison d'interféromètre différentiel et d'interféromètre multi‑faisceaux pour mesure simultanée de longueur et d'angle
• Versions : standard, variantes OEM et versions pour vide (sur demande)