Système d'application de revêtement sous vide G4000MR

Le système de revêtement sous vide G4000MR est une machine de production conçue pour produire des revêtements réfléchissants et protecteurs uniformes sur des articles optiques de grande taille, y compris des miroirs primaires astronomiques. Ingénierie et technologie La configuration de la coucheuse et les caractéristiques du processus de dépôt sont développées spécifiquement pour traiter des articles d'un diamètre allant jusqu'à 4 mètres avec de petits magnétrons contrôlés par logiciel se déplaçant le long d'une trajectoire calculée à une vitesse réglable. La vitesse de déplacement des magnétrons et la vitesse de rotation du miroir sont adaptées pour obtenir une épaisseur de revêtement exceptionnellement uniforme. Le miroir est positionné face vers le bas et est tourné plusieurs fois au cours du cycle. Le G4000MR est destiné à déposer des revêtements par réflexion sur l'aluminium, l'argent et d'autres métaux. La couche d'oxyde de silicium qui recouvre le revêtement par réflexion assure une protection résistante à l'usure de l'empilement de revêtements. Avant le dépôt du revêtement, la face du miroir est traitée par plasma à l'aide d'une source d'ions mobile afin d'assurer une bonne adhérence. Le revêtement est déposé par pulvérisation métallique et magnétron réactive. Les magnétrons circulaires sont alimentés en courant continu pulsé. Des dispositifs basés sur des résonateurs à cristaux de quartz sont utilisés pour contrôler la vitesse de dépôt du film mince en cours de croissance. Le vide nécessaire au revêtement est assuré par des cryopompes réfrigérantes et une turbopompe connectée à la soufflerie Roots et à des pompes de compression à sec. Le système de contrôle assure un processus entièrement automatisé. La coucheuse et le processus de revêtement peuvent être personnalisés en fonction des exigences du client. Substrat : miroirs astronomiques de grande taille en vitrocéramique Diamètre du substrat : jusqu'à 4 m Nombre de substrats : 1 pc.