Régulateur de débit massique MFC5000

pour gazDeviceNetProfiNet

Les régulateurs de débit massique de gaz de la série MFC5000 sont fabriqués conformément aux normes SEMI applicables aux applications concernées. Ce produit offre un large éventail d’options de communication par bus, notamment DeviceNet, ProfiNet, EtherCat et IO-Link. Ces interfaces peuvent également être personnalisées davantage sur demande. Le MFC5000 est conçu pour le contrôle des processus et dispose d’une plage dynamique de 100:1. Il contrôle la pression dans une plage comprise entre 0,1 et 1 MPa (15 à 150 PSI) et dans une plage de température compensée de 0 à 50 °C. L'appareil peut également fonctionner dans des conditions de vide.