Coucheuse par pulvérisation cathodique

optique

·Prétraitement au plasma et sur cible en graphite pour améliorer efficacement l'adhérence des couches minces ; ·Deux chambres de dépôt par pulvérisation cathodique, permettant de réduire de moitié le temps de revêtement par rapport à une chambre unique et d'accélérer la durée du cycle ; ·Plusieurs jeux de cibles de pulvérisation pour permettre un dépôt hautement efficace de divers matériaux ; ·Réglage en continu de l’espacement entre les différents bacs d’évaporation, ajustement fin de la distance ES et contrôle précis du volume de dosage dans la pompe à seringue afin de garantir les performances anti-huile du produit ; ·Conception d’un tambour de revêtement de grand diamètre, associée à une solution de suspension des substrats sur mesure, améliorant considérablement le débit ; ·Manutention automatique du chargement et du déchargement des substrats, intégrée à une vanne de porte et à un système de détection de sécurité des rails, garantissant un fonctionnement en toute sécurité.