·Chambre combinée d'évaporation et de pulvérisation ;
·Chambre d'évaporation : évaporation unilatérale pour le dépôt de matériaux évaporables à basse température (Al, Li, etc.) ;
·Chambre de pulvérisation : 6 paires de cibles rotatives, remplaçables par des cibles planes ;
·Chambre de post-traitement : pouvant servir au chauffage, au refroidissement, au traitement par gaz et au traitement par plasma, etc.
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