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Cathode de pulvérisation rotative RTSP-PS
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Description
Caractéristiques de sources de pulvérisation de magnétron
Fonctionnalités clé
1. Conception finie de champ magnétique d'élément
2. Aimant d'isolement dans l'eau de refroidissement
3. Compatible avec des puissances de DC/MF et de rf
4. Utilisation élevée de cible
5. Direction de éjection réglable
6. Densité de puissance élevée et excellente uniformité
7. Choix équilibré et non équilibré de mode
Catalogues
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