Machine de dépôt CVD RT-Parylene Coating-CVD-1

de parylènesous videpour l'optoélectronique

Quel est parylénique ? C'est un matériel protecteur de polyester transparent et sans couleur. Il convient à la métallisation sous vide à la température ambiante, et la pression de métallisation sous vide est en-dessous de 10-5 torr, alors que le processus de revêtement parylénique est environ 0,1 torr. L'épaisseur du revêtement peut être commandée entre 1-100 microns. Le revêtement est un brevet développé par les Etats-Unis au début des années 60. Il a été appliqué la première fois au champ des composants microélectroniques pour les dispositifs de cartes des USA, aérospatiaux et sous-marins électroniques militaires de lancement, 1972 inclus aux normes militaires des États-Unis dedans : MIL-I-46058C Technologie transformatrice micro et nanoe : déposition en phase vapeur (CVD) Mettez les nano-matériels en poudre dans la chambre d'évaporation de l'équipement de nano-revêtement de vide, et évaporez-vous dans les molécules gazeuses à une température de 150℃-180℃. Sous l'action du vide (1.0*10-2torr), les nanomolecules gazeux au-dessous de 10nm entrent dans la fissuration dans la chambre de fissuration, la haute température à 680°C-700°C est fendue dans les monomères réactifs, et les monomères actifs et des monomères re-sont polymérisés pour former une couche dense et sans trou d'épingle de nano-film.