Amplificateur de tension ECA

de commutationhaute tensionbipolaire

Applications typiques : Manipulation de matériaux par voie électrostatique, traitement des plaquettes de semi-conducteurs, transfert non mécanique de feuilles plates ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique La série ECA est constituée d'amplificateurs haute tension pour les mandrins électrostatiques (E-Chuck, ESC). En plus de la commutation de polarité et de la mise à la terre forcée, cette série offre également un système de surveillance de la plaquette pour les besoins d'inspection de la plaquette. De plus, avec une large plage de tension, la série prend en charge les mandrins électrostatiques de Coulomb et de Johnsen-Rahbek. Caractéristiques et avantages : Détection fiable de l'état de serrage/libération par le capteur de plaquettes Réponse rapide de l'architecture de l'amplificateur (pas d'inversion de polarité du relais pour une grande fiabilité et une longue durée de vie) "Commande indépendante à deux canaux (option) et réglage de la tension de la prise centrale (option) pour diverses opérations de serrage/desserrage Équipé d'une interface numérique LAN, USB, RS-232C Filtre RF passe-bas intégré (13,56 MHz) CT en option Polarisation de la prise centrale 0 à ±[tension maximale du taux - point de consigne de la tension] Option ET Interface Ethernet CAT Option DS Contrôle indépendant à deux canaux Option AC Entrée AC 100V à 240V 1 φ Option L7 Câble de sortie haute tension 7m x 3 (2 lorsque CT ou DS est sélectionné)