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Système d'alignement optique pour wafersde mesurede haute précision
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Caractéristiques
- Technologie
- optique
- Applications
- de mesure, pour wafers
- Autres caractéristiques
- de haute précision, automatique
Description
Présentation
Mesure simultanée du décalage entre motifs avant et arrière après exposition double-face et du décalage du wafer après collage via la mesure Top-Bottom. Mesure également la déviation d'alignement après exposition de couche de surface via la mesure Top-Top. Configurations cassette-à-cassette et semi-automatique disponibles.
Applications
Caractéristiques principales
Fonctionnement et intégration
Mesure simultanée du décalage entre motifs avant et arrière après exposition double-face et du décalage du wafer après collage via la mesure Top-Bottom. Mesure également la déviation d'alignement après exposition de couche de surface via la mesure Top-Top. Configurations cassette-à-cassette et semi-automatique disponibles.
Applications
- Fabrication de dispositifs semi-conducteurs
- Contrôle des processus pour dispositifs CMOS
- Contrôle de la précision de l'alignement avant/arrière en production de capteurs
Caractéristiques principales
- Taille wafer : Max φ12 pouces
- Répétabilité de mesure : 10X → 0,2 μm / 3σ (Top-Bottom) ; 20X → 0,02 μm / 3σ (Top-Bottom)
- Positions de mesure à l'écran : 25 positions
- Capacité recettes : 2 000
- Débit : Top-Top 100 wafers/heure (mesure 5 points) ; Top-Bottom 100 wafers/heure
- Configurations disponibles : cassette-à-cassette, semi-automatique
Fonctionnement et intégration
- Prise en charge jusqu'à 2 000 recettes de mesure et points de mesure configurables
- Adapté à l'intégration en ligne (cassette-à-cassette) et au fonctionnement semi-automatique autonome
- Modes de mesure : Top-Top et Top-Bottom pour vérification d'alignement en surface et des couches collées
Autres produits SEIWAOPTICAL CO., LTD.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.
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