Source de faisceau d'électrons pour microscope électronique à balayage SEM 20

La source d'électron pour SEM et foreuse expérimente avec la taille mieux que 20 nanomètre de tache 25 au courant de faisceau de Na du faisceau voltage/0.5 de kilovolt, à la distance fonctionnante de 25 millimètres. source thermique d'électron d'émission de champ de 1 - 25 kev (émetteur de Schottky), Na >100 courant de faisceau maximum. Colonne se focalisante électrostatique avec le doubles système d'objectif, quadrupôles d'alignement de faisceau, plaques d'obturation de faisceau, et octopole pour le débattement et le stigmation. Le courant de faisceau est sans interruption réglable par une ouverture de variable d'électron-optique. Le service courant de mesure de faisceau interne en masquant sur une ouverture de tasse de Faraday s'est relié à un auget de B. Valve d'isolement d'une manière pneumatique actionnée de colonne. Vide requis <1 X 10-8 de secteur de source mbar. CF du nanowatt gauches de pompage 35 (2 « OD) sur le côté de la chambre de source. Bakeable à 180 CF du nanowatt 63 de bride de de support de C. (4 » OD).