Système de positionnement multiaxe

automatiquepour l'industrie des semi-conducteurs

Solutions de semi-conducteurs Que vos demandes relèvent du front-end ou du back-end, nous vous proposons des solutions personnalisées adaptées à vos besoins, même les plus difficiles à satisfaire. Riche d’une expérience de plus de 25 ans auprès des plus grands noms du marché des semi-conducteurs, notre équipe traite de façon optimale les exigences les plus spécifiques et urgentes ainsi que les hausses et baisses de production. La stabilité nanométrique et les temps de montée en ms n’ont aucun secret pour nous. Nous comprenons parfaitement vos besoins et y répondons par des solutions de mouvement entièrement intégrées. Caractéristiques des « semi-conducteurs » au POI* - Configuration : XYTZ ou + Z - Longueur : jusqu’à 600 x 750 mm (Wafer 450 mm) - Précision : ≤ 1 µm (sur intervalle de mesure, sur carte) - Répétabilité : ≤ 0,1 µm - Stabilité : ≤ 2 nm (en 1s ptp) - Temps de montée : < 100 ms pour 25 mm - Vitesse Cst : < 0,01 % à <100 mm/s - Rectitude : < 5 um sur intervalle de mesure - Planéité : < 5 um sur intervalle de mesure