Système de chargement de vrac

automatisé

La conception modulaire composée d'un chargeur à voies multiples, d'un système de métrologie et d'un déviateur de cellules permet d'adapter de manière optimale la ligne de cellules de charge au débit, au nombre de pistes et aux besoins d'espace. Pour le processus de cellule suivante, les plaquettes sont soit transférées d'une ou deux pistes d'alimentation sur dix pistes, soit d'une piste sur cinq pistes. Pour répondre à des exigences de contrôle de qualité plus élevées, des options d'inspection supplémentaires peuvent être ajoutées aux systèmes (reconnaissance des trous et des fissures, mesure de la surface, mesure de la durée de vie et de la résistance). Contrôle de la qualité avant le début du processus Débits les plus élevés, jusqu'à 7600 plaquettes par heure Adapté aux systèmes de traitement comportant jusqu'à dix pistes Élimination des cassures avant les systèmes de métrologie