Purificateur de gaz à filtre PS7-PD1 Series

d'hydrogèned'oxygène

Épurateurs purs d'hydrogène de palladium de gaz de SAES produire l'hydrogène le plus pur sur la planète. La conception brevetée de microcanal offrent l'innovation la plus significative dans la purification de gaz d'hydrogène dans sur 20 ans. L'épurateur avancé d'hydrogène offre une capacité d'écoulement plus élevée avec une longévité plus peu coûteuse et améliorée pour des processus de fabrication à fort débit. Épurateurs purs d'hydrogène de gaz de SAES fournissent (99,9999999%) la pureté 9Ne s avec les niveaux typiques. Le PS7-PD1 inclut une cellule de palladium dans une clôture compacte pour un large éventail d'écoulements pour la purification de point-de-utilisation pour les outils de processus simples ou l'approvisionnement en gaz en vrac pour beaucoup d'outils de processus à de grands fabs de LED et de semi-conducteur. Épurateurs simples des cellules de palladium l'écoulement entier d'hydrogène d'admission. La clôture approprié à l'installation près des outils de processus ou dans une salle en vrac de gaz.