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Purificateur de gaz à filtre PS3-MT3 Seriesd'azote
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Caractéristiques
- Type
- à filtre
- Autres caractéristiques
- d'azote
- Débit d'air
Min: 0 l/min
(0 us gal/min)Max: 5 l/min
(1,3 us gal/min)
Description
La recherche a prouvé que la purification de gaz assure la représentation de processus cohérente et qu'on peut répéter pour la fabrication de dispositif de semi-conducteur. Le point de purification d'utilisation isole des secteurs de processus critiques des systèmes de distribution de gaz de maison et se protège contre des renversements et la contamination transversale de pureté de gaz.
Les épurateurs de MonoTorr fournissent la purification essentielle pour l'azote et les gaz rares au slpm jusqu'à 5 de débits.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.