Testeur de boucle CP-5000

de débitde frottementde température

CMP Tester pour le polissage contrôlé en R&D, le développement de processus efficaces et les essais de matériaux de polissage le développement de processus efficaces et les essais de matériaux de polissage. Caractéristiques principales : Coefficient de frottement en temps réel Force de descente et vitesse contrôlées Profilomètre 3D intégré Plusieurs tailles de plaquettes peuvent être montées Température en ligne et émission acoustique pour étudier le processus Faites progresser votre processus et le développement de vos produits grâce à notre polisseuse CMP R&D. Nous avons optimisé le développement de produits en proposant plusieurs processus de polissage sur une seule plateforme. Ces processus comprennent une large gamme de vitesses, un contrôle de la force descendante en boucle fermée, des supports de plaquettes polyvalents et un système d'alimentation automatique en suspension. En outre, le testeur CMP surveille plusieurs signaux en ligne pendant le processus de polissage. Outre le polissage des plaquettes et des substrats, le testeur est équipé d'un profilomètre de surface en ligne. Cette combinaison permet d'expliquer comment la surface, le frottement et l'usure de la surface ont changé et pourquoi des imperfections se produisent. Caractéristiques Technologie de cellule de charge et vitesse inégalées Pendant le processus de polissage, les mesures de force en ligne à haute résolution quantifient les interactions interfaciales. Pour optimiser le processus, le CP-5000 permet un contrôle total de la force de descente. Cela inclut la vitesse et les débits basés sur des protocoles d'essai personnalisés. Conditionneur de tampon Support de conditionneur de tampon supérieur auto-nivelant avec rotation active et oscillations horizontales. Convient aux conditionneurs de 0,5" à 4,25" Fiable et précis Chaque testeur CMP est polyvalent et dispose de nombreux capteurs et options de température. La platine XY motorisée est dotée d'un échange rapide, ce qui permet d'obtenir facilement des données significatives. Facilité d'utilisation Le CP-5000 est équipé de supports d'échange rapide. Il en résulte un montage rapide et facile des plaquettes et des tampons.