Système de nettoyage à sec automatiquepour wafers
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Caractéristiques
- Technologie
- à sec
- Mode de fonctionnement
- automatique
- Application
- pour wafers
Description
Le système de nettoyage post-polissage humide à sec PCS élimine les particules et la contamination et crée des surfaces de gaufrettes parfaitement propres. L'outil traite des gaufrettes d'un diamètre allant jusqu'à 300 mm. Qu'il s'agisse d'une installation à pas complet ou à demi-pas, d'une manipulation avec ou sans support, la machine s'adapte à vos besoins et s'intègre parfaitement à votre usine.
Caractéristiques et avantages
Intégration d'un chariot d'entrée humide
Propreté de surface exceptionnelle
Manipulation sans chariot
Processus à demi-pas en option
Surveillance avancée du processus
Transport de plusieurs wafers vers le port de chargement de l'OHT
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Salons
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.