Générateur de courant Bias

de tensionRF

Générateur de formes d'ondes de polarisation adaptées pour les systèmes de plasma RF Prodrive Technologies présente son générateur de forme d'onde de polarisation sur mesure, qui permet de contrôler directement la distribution de l'énergie des ions de la gaine dans le traitement du plasma. La sortie de la forme d'onde personnalisée offre un contrôle indépendant du courant et de la tension et est mesurée en temps réel. Ce contrôle direct de l'énergie ionique de la gaine améliore considérablement le contrôle et la précision des processus de gravure et de dépôt par rapport à la polarisation RF conventionnelle, permettant la personnalisation de la distribution de l'énergie ionique pour permettre des distributions très étroites et l'élimination des résidus. Il en résulte une vitesse de traitement optimisée et une sélectivité maximale pour les caractéristiques sensibles. Il réduit également la consommation d'énergie de la polarisation, ce qui augmente l'efficacité du système par rapport aux technologies conventionnelles. -Distribution étroite de l'énergie ionique avec élimination de la queue -Contrôle maximal des conditions de polarisation avec surveillance de la forme d'onde en temps réel -Intégration rapide aux systèmes RF conventionnels -Autocalibrage propriétaire de la forme d'onde Vidéo de polarisation du générateur de plasma Cette vidéo montre schématiquement comment fonctionne la polarisation personnalisée de la forme d'onde.