Système d'enduction Q 240

Le plus grand système de notre série Q. Parfait pour les tranches multiples d'un diamètre allant jusqu'à 200 mm. Dimensions : - L : 760mm L : 775mm H : 775mm Poids : - 100 KG Volume : - 20 litres Chambre de traitement : - verre de quartz, 240mm Ø, B : 450mm Sortie micro-ondes : - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Inclus : - 1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux disponibles Porte-substrat (en option) : - aluminium, conception personnalisée possible Raccordement au vide : - DN 40 ISO-KF Purge : - électrovanne électromagnétique Système de pompe : - jusqu'à 40m³/h Porte de la chambre : - vous pouvez choisir entre une porte à charnières avec hublot et une porte à tiroirs avec tiges de support fixées Taille des plaquettes : - jusqu'à 200mm, à un nombre de 50 wafers