- Plate-forme de mouvement de 365 mm de diamètre, ouverture de 260 mm de diamètre
- Excentricité et planéité < 300 nm
Vue d'ensemble des produits
Les platines de rotation à entraînement direct de la série PIglide RLA sont conçues pour la très haute précision. Elles ont un profil bas et une grande ouverture. Les platines RLA offrent une précision de déplacement, une planéité et une oscillation supérieures.
moteur couple triphasé
Sans balais
Faible couple de rotation
Encodeur absolu (en option)
Les codeurs absolus fournissent des informations de position explicites qui permettent de déterminer immédiatement la position. Aucun référencement n'est donc nécessaire lors de la mise en marche, ce qui accroît l'efficacité et la sécurité pendant le fonctionnement.
Accessoires et options
Codeur incrémental ou absolu
Filtres PIglide et kits de préparation de l'air
Contrôleurs de mouvement et servomoteurs mono ou multi-axes
Configurations multi-axes/personnalisées
Plaques de base en granit et systèmes de réduction des vibrations
Domaines d'application
Tomographie, systèmes de lignes de faisceaux, métrologie des plaquettes, inspection des plaquettes, technologie de mesure, systèmes d'inspection, étalonnage, balayage.
Grâce au mouvement sans friction, aucune particule ne se forme, ce qui rend les platines PIglide idéales pour les applications en salle blanche.
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