spectromètre de masse / de process / pour analyse de gaz
SPM 220 series

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spectromètre de masse spectromètre de masse - SPM 220 series
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Caractéristiques

  • Type:

    de masse

  • Domaine:

    de process

  • Autres caractéristiques:

    pour analyse de gaz

Description

Le moniteur de processus de pulvérisation SPM 220 de vide de Pfeiffer est un analyseur efficace de gaz qui peut aider dedans pulvérisent des processus avec ses analyses quantitatives et qualitatives des gaz. Avec d'excellentes limites de détection pour des gaz tels que l'O2, le H2 et le CO2, et la combinaison d'un système de spectromètre de masse et de la station de turbo-pompage de HiPace, c'est devenu le choix idéal pour les systèmes de vide et la production enduisants de semi-conducteur.

La source avançée d'ion de SPM assure la possibilité d'analyses de processus instantanées précises et rapides des gaz jusqu'à une pression maximum de 10-2hPa. Le gaz de processus analyse jusqu'à la pression mentionnée ci-dessus de 10 que le hPa sont rendus possible par le modèle qui possède une bride pompée différentielle d'orifice.

Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)