Spectromètre de masse SPM 220 series
de processpour analyse de gaz

spectromètre de masse
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Caractéristiques

Type
de masse
Domaine
de process
Autres caractéristiques
pour analyse de gaz

Description

Analyses en temps réel des gaz de procédé de pulvérisation cathodique à 10-2 hPa Le Sputter Process Monitor SPM 220 est la solution parfaite pour les analyses qualitatives et quantitatives des gaz des procédés de pulvérisation. La combinaison de la station de turbopompage et du système de spectromètre de masse HiPace avec une source d'ions SPM spécialement développée permet une analyse précise et actualisée des gaz de processus jusqu'à une pression de 10-2 hPa. Avantages pour les clients - Source d'ions SPM pour la surveillance instantanée des processus - Excellentes limites de détection pour l'H2, l'O2, l'H2O et le CO2 - Minimisation de l'influence du fond sur le résultat des mesures - Pour l'analyse directe, la surveillance et le contrôle des processus jusqu'à une pression de 10-2 hPa - Version à pompage différentiel pour des pressions allant jusqu'à 10 hPa - Le fonctionnement en multiplex permet l'évaluation des données de plusieurs systèmes de spectrométrie de masse avec un seul PC - Des dimensions compactes pour une intégration flexible - Intégration facile et flexible du système grâce à une variété d'entrées et de sorties numériques et analogiques Demandes - Analyse précise et actualisée des processus de pulvérisation cathodique jusqu'à une pression de 10-2 hPa - Fabricants et exploitants de systèmes de revêtement sous vide - Production de semi-conducteurs - Revêtement du verre - Production de cellules solaires à couche mince - Recherche et développement

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Catalogues

* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.