Régulateur de pression de gaz SMSQ2Micro series

à diaphragmemono-étagéen laiton

Les séries SMSQ2Micro et SMSQ2Micro130E constituent les régulateurs de pression UHP miniatures les plus avancés du marché. Elles offrent un contrôle de pression extrêmement précis et fiable qui améliore les performances des régulateurs de débit massique (MFC), éléments essentiels à la répétabilité et au rendement de la production de semi-conducteurs. Ces séries garantissent également une étanchéité supérieure et une faible génération de particules, deux caractéristiques indispensables aux applications dans le domaine des semi-conducteurs. Ces régulateurs conviennent aussi bien aux gaz inertes qu'aux gaz corrosifs et offrent une réponse exceptionnelle aux variations brusques de débit. La série utilise une conception unique à membrane liée et à centrage automatique qui assure une étanchéité fiable du siège et une régulation précise de la pression. La génération et le piégeage de particules sont réduits au minimum grâce à la suppression du ressort de clapet et des filetages de retenue du siège, ce qui améliore encore la propreté du processus et les performances de purge. Les composants en contact avec le fluide de la série SMSQ2Micro sont fabriqués à partir de métaux spéciaux afin d’offrir une résistance exceptionnelle à la corrosion, une étanchéité optimale et une durée de vie maximale à une pression d’entrée pouvant atteindre 250 psig. Le corps est électropolissé à l’intérieur et fabriqué à partir de l’acier inoxydable Vericlean™ 316L exclusif à Parker Veriflo, qui dépasse les exigences de la norme Semi F20 en matière de matériaux ; chaque membrane et chaque clapet sont fabriqués en Hastelloy C-22®, et chaque siège est disponible en PCTFE ou en Vespel®. Les modèles SMSQ2Micro et SMSQ2Micro130E présentent tous deux un encombrement réduit pour un montage en surface, conforme aux spécifications SEMI Modular Interface, et sont disponibles en configurations à joint en C et à joint en W.