Régulateur de débit massique thermique II

pour gazpour azoteen acier inoxydable

Présentation
Le contrôleur de débit massique Series II Standard assure la mesure et le contrôle précis des débits de 0,014 sccm à 1 670 slpm. Conçu pour les applications industrielles et de laboratoire, il propose des options multi-gaz et multi-plage, des interfaces de communication sélectionnables et des pièces mouillées en 316L résistantes à la corrosion.

Points clés

• Plage de débit : 0,014 sccm à 1 670 slpm
• Grande précision : ±0,5% lecture + ±0,1% FS (selon plage)
• Rapport turndown : 1:50 (jusqu'à 1:187,5 en mode numérique)
• Matériau mouillé/corps : acier inoxydable 316L ; rugosité ≈ 0,8 µm
• Communication : analogique ou numérique (RS-232, DeviceNet, Profibus-DP, Modbus-RTU)
• Options de vanne : normalement ouverte ou normalement fermée

Spécifications techniques

• Débit max : jusqu'à 1 670 L/min
• Plage de pression : 928 PSIA – 1 450 PSIA
• Types de raccord : compression, face-seal male, autres ; tailles 1/8"–1/2" (6 mm–20 mm)
• Matériaux d'étanchéité : EPDM, Kalrez, Viton (standard)
• Détails de précision : ±0,5% lecture + ±0,1% pleine échelle (±1% PE pour 3–5 ml/min ; ±2% PE pour <3 ml/min)
• Répétabilité : < 0,2% lecture
• Temps de stabilisation : 2–4 secondes (standard)
• Stabilité de contrôle : < ±0,1% PE (typique à 1 L/min N2)
• Température d'utilisation : -10 °C à 70 °C
• Coefficient température : zéro < 0,05% PE/°C ; span < 0,05% lecture/°C
• Coefficient pression : ~0,1 ATM (N2) ; ~0,01%/ATM (H2)
• Fuite : inférieure à 2 x 10-9 mbar·L/s He (testée)
• Mise en température : 30 min pour précision optimale ; 2 min pour ±2% PE
• Protection : IP40
• Alimentation : +15–24 Vdc, consommation max 320 mA (ajouter 50 mA pour Profibus)
• Connexion électrique : connecteur D 9 broches

Applications

• Distribution et mélange de gaz
• Procédés semi-conducteurs et R&D
• Instrumentation analytique et étalonnage
• Contrôle de procédés industriels et bancs d'essai

Informations de commande

• Précisez plage de débit, gaz d'étalonnage, type/diamètre de raccord, matériau d'étanchéité et action de vanne
• Choisissez l'option de communication (analogique, RS-232, DeviceNet, Profibus, Modbus)
• Accessoires : supports de montage, certificats d'étalonnage, câbles d'interface