Microscope AFM NX20

pour la recherchepour mesure de rugosité de surfacemodulaire

Park NX20 est une plateforme AFM pour tous les laboratoires de recherche traitant des échantillons jusqu'à 200 mm. Des applications académiques en passant par les semi-conducteurs et l'analyse des défaillances, NX20 offre des caractéristiques uniques telles que des mesures précises et reproductibles avec le système de balayage XY découplé, des mesures de rugosité de surface avec le détecteur Z à faible bruit, le mode True Non-Contact™ assurant la netteté de la pointe pour la précision de la rugosité de surface, une large gamme de modes de balayage haute résolution et une conception modulaire. Le NX20 est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs et des disques durs pour la précision de ses données et la reproductibilité de ses mesures, améliorant ainsi l'efficacité analytique des normes de productivité. La version 300 mm - le Park NX20 300 mm prend en charge une gamme complète de déplacements motorisés de 300 mm x 300 mm et peut inspecter efficacement une tranche entière de 300 mm, sans avoir besoin de déplacer l'échantillon. Principales caractéristiques techniques : scanner 2D guidé par la flexion avec une plage de balayage de 100 µm x 100 µm * Scanner Z à grande vitesse avec une plage de balayage de 15 µm * Capteur de position XYZ à faible bruit * Platine d'échantillonnage XY motorisée avec encodeurs en option * Automatisation du balayage pas à pas * Support d'échantillon accessible * Fente d'extension pour les modes et options SPM avancés * Optique haute puissance directement sur l'axe avec éclairage LED intégré * Engagement automatique par la tête SLD coulissante * Platine Z motorisée et platine de mise au point alignées verticalement * Électronique numérique 24 bits à grande vitesse