Machine de mesure d'épaisseur de film MetaPULSE®
de métalsans contacten ligne

machine de mesure d'épaisseur de film
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Caractéristiques

Applications
de film, de métal
Technologie
sans contact
Autres caractéristiques
en ligne
Plage de mesure

Max: 15 µm

Min: 0,01 µm

Description

Le système MetaPULSE G utilise une technique laser sans contact, non destructive et capable de mesurer l'épaisseur d'une ou plusieurs couches. Aperçu du produit La série MetaPULSE est la norme industrielle pour les mesures d'épaisseur des films métalliques. Le système MetaPULSE G offre des performances supérieures sur tous les films métalliques, et est optimisé pour les applications minces à une ou plusieurs couches qui sont essentielles dans les processus de logique avancée, de mémoire et d'emballage 3D. La technologie PULSE™ brevetée d'Onto Innovation offre une technique sans contact et non destructive pour mesurer l'épaisseur de chaque couche dans un empilement de films métalliques multicouches sur des tranches de produits, sans interférence des couches ou niveaux sous-jacents. Contrairement aux techniques optiques et à rayons X, la technologie PULSE mesure l'épaisseur du film à l'aide d'un signal acoustique résolu dans le temps qui peut être utilisé dans les filières actives sans nécessiter de sites de test métrologiques spéciaux. Applications -Métaux de porte (W, WSi, Ru) -Fiche et contact (W, WN, NiPt, Co) -Barrière (Ti, TiN, Ta, TaN) -Métallisation damasquinée au cuivre (Seed, EP, CMP) -Métal supérieur (Al, TiN/Al) -Electrode RF/IDT (Mo, AlN, Pt) -UBM, RDL (Au, Ni, TiW) -Empilements de têtes magnétiques (NiFe, CoFe, NiCr, Cr, Ru, Au) -Masque dur 3D NAND (carbone amorphe) -MEMS (Poly épais, Ge) -Mesures du module des films à faible et ultra faible coefficient de friction Spécifications -Mesures opto-acoustiques en ligne à l'aide d'un laser ultrarapide femtoseconde -La petite taille du spot (8x10µm) permet de réaliser des mesures dans un site de 15µm -Épaisseur typique des films métalliques de 50Å à 8µm, avec possibilité d'extension à 12um -Débit élevé jusqu'à 60wph -Adaptation intrinsèque d'outil à outil dépassant les exigences des nœuds avancés

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Catalogues

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.