Machine d'inspection de macro défaut F30™
de surfacepour wafersindustrielle

machine d'inspection de macro défaut
machine d'inspection de macro défaut
machine d'inspection de macro défaut
Ajouter à mes favoris
Ajouter au comparateur
 

Caractéristiques

Applications
de surface, pour wafers
Secteur
industrielle
Autres caractéristiques
de défauts, de macro défaut, haute résolution, automatisée

Description

Conçu pour brouiller les pistes entre la micro inspection en champ sombre et la macro inspection traditionnelle, le système F30 permet une inspection automatisée des défauts pour les applications de qualité en amont et en aval (OQA). Aperçu du produit Le système F30 est doté d'une tourelle à cinq objectifs qui offre la flexibilité de résolution et de débit requise par les applications d'inspection multi-processus actuelles. Équipé d'une suite de productivité avancée (création de recettes sans plaquette, FOUP simultané, serveur de recettes et correspondance d'outils), le système F30 redéfinit les attentes en matière de coût de possession de l'inspection. Applications - Inspection après développement (ADI) - Assurance qualité de sortie de fabrication - Inspection après CMP - Inspection après gravure Spécifications - Débit jusqu'à 120 wph (10µm) - Flexibilité de la résolution (10µm à 0.5µm) - Trois méthodes simultanées d'examen des défauts de couleur : à la volée, haute résolution, tranche entière - S'associe à des modules de bord et de face arrière pour une solution toutes surfaces

---

Catalogues

Aucun catalogue n’est disponible pour ce produit.

Voir tous les catalogues de Onto Innovation Inc.
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.