Régulateur de débit massique thermique MF1100B

pour azote

«  LE CONTRÔLEUR MODÈLE D'ÉCOULEMENT DE LA MASSE DE MF1100B COMPORTE LA CAPACITÉ PROLONGÉE DE SLM JUSQU'À 20 DE GAMMES, DE STABILITÉ PLUS ÉLEVÉE DE TERMPERATURE ET DE BEAUCOUP DE FONCTIONS. Caractéristiques GAMME DE ■MINIMUN DE 5 SCCM ET SLM JUSQU'À 20 TAILLE DE ■COMPACT FONCTION DE ■STANDARD SOFT-START FUITE de ■MINIMUM de 1.013×10-9Pa· de m3 \ /s (il) \ /html »