scanner 2D / pour wafer solaire photovoltaïque / laser / de haute précision
NSR-S210D

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Caractéristiques

  • Nombre d'axes:

    2D

  • Applications:

    pour wafer solaire photovoltaïque

  • Technologie:

    laser

  • Autres caractéristiques:

    de haute précision

Description

Le module de balayage de NSR-S210D KrF utilise une étape tandem acclamée pour améliorer la sortie de 20% au-dessus des modèles conventionnels, livrant 176 gaufrettes (300 millimètres) par heure. Du nouveau les 9 nanomètre ou meilleure exactitude module de balayage d'alignement combine avec le systeme optique rodé en clientèle de la projection de Nikon (Na 0.82) et le système de flash pour fournir l'exécution exceptionnelle de formation image. Le NSR-S210D réduit considérablement le coût de la propriété (roucoulement) dans la production en série de 110 nanomètre ou plus petits dispositifs. L'utilisation d'une plate-forme commune à tous les modules de balayage de Nikon contribue à améliorer l'efficacité de production et à réduire des coûts de fonctionnement.

Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)