Système de surveillance de concentration Q-MACS MC

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Le Q-MACS Process MC est un système de surveillance portable pour la mesure en ligne in situ des procédés industriels tels que les procédés plasma de gravure, de dépôt et de nitruration. Il est basé sur la technologie éprouvée Q-MACS Basic. Ce système de mesure in situ utilise la spectroscopie d'absorption infrarouge pour mesurer les concentrations moléculaires absolues à l'intérieur de la chambre de traitement. La connexion optique au réacteur de traitement est assurée par des brides à vide standard. Système avec chemin optique fermé Équipé de 1 à 4 lasers Sensibilité jusqu'à la gamme des ppb Résolution temporelle jusqu'à la milliseconde Le Q-MACS Process MC comprend tout l'équipement et le logiciel nécessaires au fonctionnement du système.