Objectif de microscope zoom NanoVue

pour détectiond'inspectionUV

Navitar a répondu au besoin croissant d'étendre les limites de résolution de l'inspection optique en développant un objectif NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom. Le système optique NanoVue fonctionne dans l'ultraviolet profond (DUV), ce qui permet de détecter et de caractériser les défauts critiques pour le rendement tout en doublant la limite de résolution des microscopes conventionnels à lumière visible. - Sensibilité d'inspection de 90 nm. - Plage de zoom de 75X à 300X lorsqu'il est couplé à un objectif 100X. - FOV de 0,15 à 0,037 mm avec un capteur de format 2/3" et un objectif 100X. - Inspection optique jusqu'à moins de 0,1 um en utilisant des objectifs Deep UV. - Seule solution de zoom UV profond de l'industrie. L'objectif NanoVue Zoom est idéal pour le développement de nouveaux produits OEM et l'intégration dans les instruments DUV qui nécessitent un débit plus élevé, permettant aux clients de développer rapidement de nouveaux instruments automatisés flexibles, riches en fonctionnalités, moins coûteux et moins encombrants.