Analyseur d'air Process Sense™

élémentaireà intégrerNDIR

Le Sense? de processus convient à déterminer l'accomplissement du nettoyage de chambre de plasma, dans le semi-conducteur et les chambres de dépôt. L'analyseur de pression réduit au minimum l'érosion de chambre, due à overcleaning. En conséquence, le service de la vie de la chambre est prolongé. Le dispositif est conçu d'une absorption infrarouge, qui est efficace pour tout le nettoyage de plasma. Il est offert dans les kits d'adaptation complets, pour des outils de CVD d'AMAT. Il peut être utilisé dans différentes applications impliquant des oxydes de silicium, nitrures de silicium, polysilicon et dans le silane ou les processus de TEOS.