Capteur de pression relative

thermiquefiletéde précision

Utilisant des jauges de contrainte, ces capteurs de pression sont des capteurs qui mesurent la pression sous forme de signaux électriques. Minebea fabrique des capteurs de pression de haute précision qui utilisent la technologie du silicium sur saphir et des capteurs de pression à stabilité prolongée qui utilisent des jauges de contrainte. Connectés à divers appareils de mesure, ces dispositifs permettent d'afficher, d'enregistrer, de contrôler, de surveiller la pression, etc. En fonction du matériau utilisé pour construire la section sensible, il existe deux types de systèmes de jauges de contrainte : le système de jauges de contrainte à semi-conducteur (système SOS) et le système de jauges de contrainte à feuille métallique (système de jauges de contrainte). capteurs de type pression directe avec technologie de silicium sur saphir (SOS) Les capteurs de pression sont constitués d'une couche mince de silicium (croissance épitaxiale) formée sur une plaque de saphir (monocristal d'Al2O3). Grâce à cette couche mince de silicium, les jauges de contrainte à semi-conducteurs en silicium ont leurs fils de résistance électrique eux-mêmes connectés à une carte en saphir, ce qui constitue un capteur idéal extrêmement stabilisé physiquement et électriquement. Environ 60 unités sont utilisées dans chaque fusée H-IIA.