pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^ (- 6) mbar
voyage de 3,5 millimètres dans la direction de x et de y
empreinte de pas de 15 x 15 millimètres
Étapes miniatures ultra petites de traduction avec la commande à inertie éclectique piézo-électrique. Édition de vide de MS15.
---