pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^(-6) mbar
encombrement de 15 x 15 mm
Platines de translation miniatures ultra petites avec entraînement inertiel piézoélectrique. Edition vide du MS15.
Caractéristiques techniques
Largeur - 15 mm
Hauteur - 7 mm
Profondeur - 15 mm
Charge max. Charge (2 axes)
Mx, My, Mz (élan) - 4 Ncm
Forces de blocage (Fx, Fy) - 3 N
Force d'appui (Fz) - 20 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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