Système de positionnement XY

rotatiflasersous vide

Indexateur de plaquettes semi-conductrices à 8 stations Ce système a été spécialement conçu pour le traitement par faisceau d'ions des plaquettes semi-conductrices 2″ ou 3″ à des températures élevées. Le système d'indexation permet un contrôle précis de la position des plaquettes et un traitement par lots de 8 plaquettes par série. Les plaquettes sont tournées vers le réchauffeur et sont chauffées en quelques secondes avant que le traitement par faisceau d'ions ne puisse commencer. La température est contrôlée par un pyromètre optique qui lit la température de surface de la plaquette chauffée. Un large orifice d'accès permet la fixation de l'instrumentation du faisceau d'ions. Le four est un système complet clé en main avec un système de vide, un système de gaz inerte, des servocommandes d'indexation, des contrôles de température et de refroidissement à eau.