Spectromètre à rayons X 2830 ZT

WDXRFde laboratoirede mesure

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs L'analyseur de wafer 2830 ZT à fluorescence X à dispersion de longueur d'onde dispose des dernières technologies en matière de mesure d'épaisseur de film et de composition. Spécifiquement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs et du stockage de données, l'analyseur de wafer 2830 ZT permet de déterminer la composition des couches, leur épaisseur, le niveau des dopants et l'uniformité de la surface pour une large gamme de wafers jusqu'à 300 mm. Le tube à rayons X SST-mAX 4 kW utilise la nouvelle technologie ZETA qui élimine les effets de vieillissement du tube. Les performances de ce « nouveau tube » sont maintenues pendant toute la durée de vie de l'instrument. La technologie ZETA garantit une sensibilité élevée et peu de dérive pendant toute la durée de vie du tube. La technologie ZETA réduit tout besoin de correction de dérive et de réétalonnage, et par conséquent augmente la productivité et l'uptime de l'instrument. Uptime optimisé Les tubes à rayons X traditionnels subissent une évaporation du tungstène, ce qui provoque des dépôts à l'intérieur de la fenêtre béryllium du tube. Tous les instruments utilisant des tubes à rayons X nécessitent une correction régulière des dérives qui vise à compenser la diminution de l'intensité, en particulier pour les éléments légers. L'installation du tube SST-mAX dans le système 2830 ZT résout le problème de dérive : l'uptime de l'instrument et sa précision sont maintenus tout au long de sa durée de vie.