Codeur linéaire incrémental BS78

optiquesans contactouvert

Haute vitesse et haute résolution, tout en maintenant une mesure stable et ultra-précise. Idéal pour les scènes de précision, les systèmes d'inspection/fabrication de semi-conducteurs et les machines de traitement d'ultraprécision. Échelle haute résolution avec un pas de signal d'environ 138 nm, surpassant les systèmes d'interféromètres à ondes lumineuses Grande stabilité, non affectée par l'humidité, la pression atmosphérique et les perturbations de l'air Précision du point de référence : ±0,1µm Précision de l'échelle : ±0,04µm (longueur de mesure : 40mm) La conception sans contact élimine l'erreur de retour. Longueur de mesure : 40 à 420mm, 9 types (-R/-RS) Longueur de mesure : 10 à 420mm, 10 types (-N/-NS) Modèles spéciaux amagnétiques et compatibles avec le vide disponibles Utilisation de verre à faible dilatation : -0,7 x10-6 °C (longueur de mesure : 10 à 420mm) Résolution : 2,1 pm