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Profilomètre optique Zeta™-388
3Davec interférométrie en lumière blanchepour mesure de rugosité

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Caractéristiques

Technologie
optique, 3D, avec interférométrie en lumière blanche
Fonction
pour mesure de rugosité
Applications
pour semi-conducteur
Autres caractéristiques
sans contact

Description

Le profileur Zeta-388 optique est un de non contact, système de mesure de topographie de la surface 3D. Les constructions Zeta-388 sur la capacité du Zeta-300 en plus d'un manipulateur de cassette-à-cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est actionné par technologie brevetée de ZDot™ et optique à plusieurs modes de fonctionnement, permettant la mesure d'un grand choix d'échantillons : transparent et opaque, bas à la réflectivité élevée, lissez à la texture approximative, et aux tailles d'étape du nanomètre aux millimètres. Le Zeta-388 intègre six technologies optiques différentes de métrologie dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure de ZDot™ rassemble simultanément un balayage 3D à haute résolution et une image infinie de foyer de véritable couleur. D'autres techniques de mesure 3D incluent la microscopie de contraste d'interférométrie légère blanche, d'interférence de Nomarski, et l'interférométrie de cisaillement. L'épaisseur de film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à bande large intégré. Le Zeta-388 est également un microscope à extrémité élevé qui peut être utilisé pour le critique témoin ou l'inspection automatisée de défaut. Le Zeta-388 soutient la R&D et les environnements de produit en fournissant la taille d'étape, la rugosité, et les mesures d'épaisseur de film, la capacité d'inspection de défaut, et manipulation complètes de gaufrette de cassette-à-cassette.

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