Profilomètre 3D Tencor™ P-7

à styletpour mesure de rugositéde paillasse

Le profileur de stylet de table Tencor P-7 s'appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table Tencor P-17, leader sur le marché. Il intègre les performances de mesure supérieures de la technologie P-17 dans une plate-forme qui offre un excellent rapport prix/fonctionnalités pour un profileur à stylet de table. Le profileur à stylet Tencor P-7 prend en charge les mesures 2D et 3D des hauteurs de pas, de la rugosité, de l'arrondi et du stress pour des scans allant jusqu'à 150 mm sans piqûre. Caractéristiques - Hauteur de pas : Nanomètres à 1000µm - Faible force avec contrôle de la force constante : 0,03 à 50 mg - Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans piqûre - Vidéo : caméra couleur haute résolution de 5MP - Correction de l'arc : Supprime l'erreur due à l'arc de cercle du stylet - Logiciel : Interface logicielle facile à utiliser - Capacité de production : Entièrement automatisé avec séquençage, reconnaissance des formes et SECS/GEM Applications - Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D - Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D - Forme : arc et forme en 2D et 3D - Contrainte : contrainte des couches minces en 2D et 3D - Examen des défauts : topographie de la surface des défauts en 2D et 3D