Le système d'acquisition de données Thermal TRACK™ 5 prend en charge les mesures in situ de la température des plaquettes à partir des produits instrumentés SensArray® Process Probe™ câblés. Le système Thermal TRACK 5 associe l'unité d'acquisition de données sans fil ISIS 5 (Intelligent Sensor Interface System) à un assistant numérique personnel de poche pour la visualisation en temps réel et l'enregistrement des données pour la caractérisation des profils de température. En fournissant des représentations graphiques informatives de la température de la plaquette pendant la montée en puissance, l'état stable et le refroidissement, Thermal TRACK 5 constitue une méthode rapide et rentable de gestion de la plupart des processus. Ce système portable offre une exactitude, une précision et une résolution élevées pour les mesures transitoires et en régime permanent, fournissant des données essentielles aux ingénieurs de l'usine pour calibrer et vérifier les points de consigne de température et effectuer des contrôles de maintenance préventive prédéfinis.
Applications
Surveillance des outils de production
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