Système de mesure d'épaisseur Aleris®

spectroscopiquepour film

Le système de métrologie des films Aleris® 9350 fournit des mesures fiables et de haute précision de l'épaisseur, de l'indice de réfraction, de la contrainte et de la composition des films pour une large gamme de films généraux supportant la logique avancée, la DRAM et la 3D NAND. Construit sur notre dernière plateforme avec une source lumineuse à haute luminosité et des systèmes optiques mis à jour, l'Aleris 9350 s'appuie sur la technologie d'ellipsométrie spectroscopique à large bande (BBSE) pour offrir une productivité et des performances à la pointe de l'industrie pour les applications de films généraux. Avec des capacités de portage de recettes et d'adaptation multiplateforme, le système fournit une solution complète pour la qualification et le contrôle de diverses couches de film, aidant les usines à maintenir le contrôle du processus et à accélérer le temps de rendement. Analyse technique, Contrôleur de processus en ligne, Contrôleur d'outils, Adaptation d'outils de processus Aleris 8330 Le système de métrologie des films Aleris 8330 est une solution à faible coût de propriété pour les films non critiques, y compris les diélectriques intermétalliques, les photorésistances, les revêtements antireflets inférieurs, les oxydes et nitrures épais, et les couches de fin de ligne. Aleris 8350 L'Aleris 8350 est un système de métrologie des films à hautes performances qui répond aux tolérances de processus plus strictes requises pour les mesures d'épaisseur, d'indice de réfraction et de contrainte sur les films critiques. Le système de mesure de l'épaisseur des films Aleris 8350 est utilisé pour le développement, la caractérisation et le contrôle des processus d'une large gamme de films critiques, y compris les couches de diffusion ultra-minces, les oxydes de grille ultra-minces, les résines photosensibles avancées, les couches ARC 193nm, les empilements multicouches ultra-minces et les couches CVD. Aleris 8510 L'Aleris 8510 étend les mesures d'épaisseur de film de la famille Aleris, les mesures de composition et les mesures d'épaisseur de film de la famille Aleris